ターボ分子ポンプ排気ユニット
高真空排気ユニット│アルバック社製（YTP70B）
ターボ分子ポンプ排気ユニット
高真空排気ユニット│アルバック社製（YTP-Bシリーズ）
電源・部品・材料コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（Digital DCシリーズ）
コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
真空計キャパシタンスマノメータ
キャパシタンスマノメータ CCMT-1000D/100D/10D/1D│アルバック社製
オプショントランデューサ型（組合せ可能）電源・部品・材料
トランスデューサ型真空計用ディスプレイユニット ISG1│アルバック社製
電源・部品・材料コンポーネント電源
高周波電源システム 整合器内蔵 高周波電源 RMG-1303│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（MBS-053）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（PMB-Cシリーズ）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
