コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
真空計キャパシタンスマノメータ
キャパシタンスマノメータ CCMT-1000D/100D/10D/1D│アルバック社製
オプショントランデューサ型（組合せ可能）電源・部品・材料
トランスデューサ型真空計用ディスプレイユニット ISG1│アルバック社製
電源・部品・材料コンポーネント電源
高周波電源システム 整合器内蔵 高周波電源 RMG-1303│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（MBS-053）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（PMB-Cシリーズ）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（PRCシリーズ）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（PMB-Dシリーズ）│アルバック社製
オプション真空ポンプ油回転真空ポンプ電源・部品・材料消耗品
油回転真空ポンプ用オイルミストトラップ（TMX-1/TMシリーズ）│アルバック社製
真空ポンプ油回転真空ポンプ
