ポンプ補器設備・装置その他装置
オイルクリーナー│トリプルアール社製（SEシリーズ）
ポンプ補器設備・装置その他装置
オイルクリーナー│トリプルアール社製（WS-WD）
ポンプ補器油回転真空ポンプその他装置
油水分離装置│アルバック機工社製（オイルフィルトレーションシステム UFW-003）
ターボ分子ポンプ排気ユニット
高真空排気ユニット│アルバック社製（YTP70B）
ターボ分子ポンプ排気ユニット
高真空排気ユニット│アルバック社製（YTP-Bシリーズ）
電源・部品・材料コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（Digital DCシリーズ）
真空計キャパシタンスマノメータ
キャパシタンスマノメータ CCMT-1000D/100D/10D/1D│アルバック社製
オプショントランデューサ型（組合せ可能）電源・部品・材料
トランスデューサ型真空計用ディスプレイユニット ISG1│アルバック社製
電源・部品・材料コンポーネント電源
高周波電源システム 整合器内蔵 高周波電源 RMG-1303│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプ（MBS-053）│アルバック社製
真空ポンプメカニカルブースタポンプ
