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ターボ分子ポンプ排気ユニット

高真空排気ユニット│アルバック社製(YTP70B)

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トランスデューサ型真空計用ディスプレイユニット ISG1│アルバック社製

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メカニカルブースターポンプ(MBS-053)│アルバック社製

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油回転真空ポンプ用吸気フィルター(OFIシリーズ)│アルバック機工社製