特長
- 測定質量数範囲 1～200 amu
- 反応性プロセス中で長時間安定した測定が可能
- 通信インターフェース、Ethernet
- 磁場をもつクロードイオン源の採用
ソフトなイオン化でガスの解離が少なく、感度が高いイオン化室での熱反応による分解、吸着を防ぐ - コンパクトな流路制御バルブ
プロセス室からイオン源までの距離を短くし、速いレスポンスでの分解が可能 - 10-6 to 13kPa幅広い圧力での測定が可能（オリフィス選択による）
- PCレスでも測定可能
- One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
- センサユニット接続時で最大120℃の高温ベーキングが可能
- イオンソース、二次電子倍増管の予防保全分析管のトレサビリティ機能の搭載（特許出願中）
- ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
- ソフトウェアが標準搭載（Windows 8/10/11対応）
仕様
センサ
| RGM2-202 | RGM2-302 | |
|---|---|---|
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | |
| 質量数範囲 | 1～200 amu | 1～300 amu |
| 分解能 | M/△M=1M (10%P.H.) | |
| 検出器 | SEM/ファラデーカップ | |
| 感度 | 1×10-3 A/Pa | |
| 最小検知分圧 | 1×10-10 Pa | |
| イオン源 | 磁石付クローズドイオン源 | |
| フィラメント | V字型 Ir/Y2O3 1本 | |
| イオン化電圧 | 20～70 eV | |
| エミッション電流 | 10μA | |
| アンプレンジ | 1×10-5～1×10-12 A | |
| ベーキング可能温度 | 120℃ | |
差動排気システム
| RGM2-202 | RGM2-302 | |
|---|---|---|
| ガス導入バルブ | オリフィス付き流路制御バルブ | |
| 最大サンプリング圧力 | 13kPa | |
| 差動排気系 | 中間排気、パージ付TMP | |
| ターボ分子ポンプ | 67L/s：N2 | |
| フォアポンプ | DIS090 | |
| ピラニ真空計 | SW1-1 | |
| 電離真空計 | GI-M2 | |
| 質量 | 排気系：57kg／制御系：38kg | |
ユーティリティ
| RGM2-202 | RGM2-302 | |
|---|---|---|
| 電源電圧 | AC100V 15A | |
| 圧縮空気 | Dry N2：0.4～0.7MPa (Φ6ワンタッチ継手) | |
コントロールユニット
| RGM2-202 | RGM2-302 | |
|---|---|---|
| One Click機能 | あり He / H2O / N2 / O2 / Any gas | |
| 外部入出力 | アナログ入力2点（0-10V） セットポイント出力2点（異常、警告） 外部インターロック（圧力保護） |
|
その他
| RGM2-202 | RGM2-302 | |
|---|---|---|
| ベーキングヒーター | テープヒーター | |
| 高さ調整スタンド | 標準 | |
| センサ部一制御部間接続ケーブル | 約5m | |
| インターフェース | Ethernet | |
| ソフトウェア | Qulee QCS Ver4.2以降（Windows 8/10/11対応） | |
| オプション | PC | |
用途
- プロセス中の反応ガスのモニタ
- エッチングやクリーニングプロセスのエンドポイントモニタ
- 残留ガス測定
- リークテスト
