特長
- 力変換効率の良いRF回路を搭載することにより、省エネルギーを実現
- 高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
- RF電源にオートマッチング機能を内蔵
- 外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
- 装置メーカーとして長年蓄積したノウハウをベースに設計することにより圧倒的な信頼性を実現
仕様
RF電源モデル
| RFS-1305N | RFS-1310N | RFS-1310N | RFS-1310N | |
|---|---|---|---|---|
| 入力仕様 | 入力電圧：単相AC200V – 220V 入力容量：1.2 kVA以下 |
入力電圧：単相AC200V – 220V 入力容量：1.8 kVA以下 |
入力電圧：3相AC200V – 220V 入力容量：5 kVA以下 |
入力電圧：3相AC200V – 220V 入力容量：8 kVA以下 |
| 出力仕様 | 発振周波数：13.56MHz 定格電力：500W（50Ω 負荷時） 同軸出力コネクタ：N型 |
発振周波数：13.56MHz 定格電力：1000W（50Ω 負荷時） 同軸出力コネクタ：N型 |
発振周波数：13.56MHz 定格電力：3000W（50Ω 負荷時） 同軸出力コネクタ：HN型 |
発振周波数：13.56MHz 定格電力：5000W（50Ω 負荷時） 同軸出力コネクタ：DIN 7/16 |
| 冷却方式 | 強制空冷・冷却水不要 | 強制空冷・冷却水不要 | 強制空冷+水冷 流量 4L/min |
強制空冷+水冷 流量 6L/min |
| 外形寸法（突起物を含まない） | W240 x D495 x H150（mm） | W240 x D495 x H150（mm） | W480 ×D500 × H150 (mm) | W480 ×D500 × H150 (mm) |
| 質量 | 約11kg | 約11kg | 約23kg | 約23kg |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS |
マッチングボックスモデル
| MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N | |
|---|---|---|---|---|
| 入力電力 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 許容出力電流 | 30Arms | 30Arms | 80Arms | 120Arms |
| 許容出力電圧 | 2500Vpp2500Vpp | 2500Vpp | 5000Vpp | 10000Vpp |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷 | 水冷（2L/min） | 水冷（2L/min） |
| 外形寸法（突起物を含まない） | W375 × D250 × H120 (mm) | W375 × D250 × H120 (mm) | W375 × D250 × H170 (mm) | W450 × D500 × H248 (mm) |
| 質量 | 約8kg | 約8kg | 約10kg | 約21kg |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS |
用途
- スパッタリング装置
- CVD装置（化学気相成長装置）
- プラズマエッチング装置
- RFイオン源
- ニュートラライザ（プラズマプロセスで使用される放射線源）
