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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

DC電源│アルバック社製(Digital DCシリーズ)

※価格についてはお問い合わせください。

Digital DCシリーズは、スパッタリング用直流電源(DC電源)です。信頼性のある部品と回路で構成しており、長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映しました。プラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。

特長

  • 豊富な高機能オプション
  • 軽量・省スペース設計
  • 出力電圧範囲は800V仕様とHV仕様をラインナップ(10/20kw:1000V / 2/4kw:900V)
  • プラズマを熟知した出力制御
  • 強制空冷方式のため冷却水が不要
  • 優れたARC機能と高速ARC処理回路を搭載
  • 最大12台(240kW)まで並列運転が可能(10/20kW製品のみ)
  • CE、KC、SEMI F47、RoHSに対応

仕様

DC-2-D DC-4-D DC-10-D DC-10-DH DC-20-D DC-20-DH
入力仕様:入力電圧 3相 AC200V/220V 3相 AC200V/220V 3相AC208V 3相AC208V 3相AC208V 3相AC208V
入力仕様:入力容量 3.5kVA以下 6.2kVA以下 13.5kVA以下 13.5kVA以下 25kVA以下 25kVA以下
出力仕様:定格電力 2kW 4kW 10kW 10kW 20kW 20kW
出力仕様:定格電流 5A 10A 25A 18A 50A 40A
出力仕様:定格電圧 800V/900V* 800V/900V* 800V 1000V 800V 1000V
出力仕様:イグニッション電圧 1200V 1200V 1500V 1500V 1500V 1500V
制御:制御精度 設定値の±1% 設定値の±1% 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう
別途、高精度オプションもあり
定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう
別途、高精度オプションもあり
定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう
別途、高精度オプションもあり
定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%以下のうちどちらか大きいほう
別途、高精度オプションもあり
制御:制御保証範囲 定格電力値の1-100% 定格電力値の1-100% 定電力制御  定格電力値の10-100%
別途、高精度オプションもあり
定電力制御  定格電力値の10-100%
別途、高精度オプションもあり
定電力制御  定格電力値の10-100%
別途、高精度オプションもあり
定電力制御  定格電力値の10-100%
別途、高精度オプションもあり
制御:外部制御 Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
Analog/Digital、シリアル通信(RS232CまたはRS485)、
EtherCAT(オプション)
並列運転
冷却方式 強制空冷 強制空冷 強制空冷 強制空冷 強制空冷 強制空冷
外形寸法(突起物を含まない) W241×D610×H133(mm) W241×D610×H133(mm) W483×D630×H133(mm) W483×D630×H133(mm) W483×D630×H133(mm) W483×D630×H133(mm)
質量 15kg 15kg 29kg 29kg 36kg 36kg
適合規格 CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州) CE、KC、SEMI F47、RoHS(欧州)

※通常は800V仕様、900V仕様はオプションとなります。

この製品を導入した実績

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