油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（DC-Dシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）
ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（GP-Gシリーズ）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-30-44H-E）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）
ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）
ドライ真空ポンプ
