特長
- コストパフォーマンス抜群の汎用仕様 差動排気系付のためプロセスモニタリングから残留ガス分析（RGA）までを1台で対応可能
- コンパクト設計 標準排気ユニットDesktop YTPを採用したコンパクト設計
- 表示部一体型の設計 PCレスでも測定可能
- 簡単操作 One Click機能（だれにでも簡単、複雑な操作は不要）
- 測定質量範囲 1 ～ 100 (BGM2-101 / 102)、1 ～ 200 (BGM2-201 / 202)、1 ～ 300 (HGM2-302)から選択可能
- 低騒音： 運転音が43dB(A)以下の低音設計
- 真空計の専用表示器が不要： 真空計の信号を取り込み操作画面への表示が可能（真空計はオプ ション）
- リークテスト機能の充実 ヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテストが可能
- Ethernet対応Qulee QCS Ver4.2以降、 付属 ソフトウェアが標準搭載（Windows 8/10/11対応）
仕様
| Qulee with YTP-H（真空仕様） | Qulee with YTP-H（大気圧仕様） | |
|---|---|---|
| ガス分析計 | Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 から選択 | Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 から選択 |
| 最大サンプリング圧力 | 大気圧, 3000Pa, 500Pa, 100Pa, 10Pa, 1Pa から選択 | 大気圧 |
| 排気ユニット | Desktop YTP (YTP-70A-D) | Desktop YTP (YTP70A-D) |
| ターボ分子ポンプ | 排気速度70L/s (N₂) | 排気速度70L/s (N₂) |
| ドライポンプ | 排気速度20L/min（ダイアフラム型） | 排気速度20L/min（ダイアフラム型） |
| 電源電圧 | AC100-240V | AC100-240V |
用途
Qulee with YTP-H（真空仕様）
- 研究開発用途向け各種ガス分析
- スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセス中のガスモ ニタ
- スパッタリング装置、真空蒸着装置などの残留ガス分析
- 高真空排気装置の残留ガス分析
- 真空浸炭炉のエンドポイントおよび酸素濃度の確認
- 凍結乾燥装置の乾燥ポイントおよび不純物の確認
Qulee with YTP-H（大気圧仕様）
- 研究開発用途向け各種環境分析
- 大気圧における環境測定
- 触媒反応分析
- 温度データを取り込むことによる各種熱分析
