コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（DC-Dシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）
ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）
ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（GP-Gシリーズ）
スパッタリング装置
ロードロック式 スパッタ装置│昭和真空社製（SPH-2500T-Ⅱ）
スパッタリング装置
