特長
マッチングボックスの出力を切り替え可能
EXNシリーズは、マッチングボックスの出力を切り替えることができます。これは、異なるターゲットやアプリケーションに異なる電力を供給する必要がある場合に便利です。
カソード別のマッチングボックスの設置不要
通常、異なるカソード（ターゲット）ごとに個別のマッチングボックスを設置する必要がありますが、EXNシリーズを使用することで、これらの個別の設置が不要になり、装置コストを削減できます。
切替方式
EXNシリーズは、手動とモーター駆動の2つの切替方式を提供しています。これにより、操作の柔軟性が向上し、使用者の要求に合わせて選択できます。さらに、より大電力に対応した水冷方式も提供されています。
DC電源およびDCパルス電源の出力切替
EXNシリーズは、DC電源およびDCパルス電源の出力を切り替えるためにも使用できます。これは、異なる電源が必要な場合に便利です。
1台で複数の用途に対応
通常、異なるマッチングボックスが異なる負荷に合わせて必要ですが、EXNシリーズを使用することで、1台のマッチングボックスで複数の用途に対応できます。ただし、整合範囲を超える負荷には使用できないことに注意してください。
効率的な電力供給切替
この装置は、異なる電極や電源への電力供給を効率的に切り替えるために使用され、装置のコスト削減や操作の簡素化に貢献します。
仕様
| EXN2T-40A | EXN3T-40A | EXN4T-40A | EXN2M-40A | EXN3M-40A | EXN4M-40A | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 切替接点数 | 2点 | 3点 | 4点 | 2点 | 3点 | 4点 |
| 切替方式 | 手動式 | 手動式 | 手動式 | 電動式 | 電動式 | 電動式 |
| ホットスイッチ | 使用不可 | 使用不可 | 使用不可 | 使用不可 | 使用不可 | 使用不可 |
| 使用周波数 | DC-13.56MHz | DC-13.56MHz | DC-13.56MHz | DC-13.56MHz | DC-13.56MHz | DC-13.56MHz |
| 定格通電電流 | 40A | 40A | 40A | 40A | 40A | 40A |
| 接点間耐電圧 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 |
| 接点-GND間耐電圧 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 | AC 10kV 1分間 |
| モータ定格電圧 | – | – | – | DC24V | DC24V | DC24V |
| モータ定格電流 | – | – | – | 0.22A（最大0.75A） | 0.22A（最大0.75A） | 0.22A（最大0.75A） |
| 接点位置出力 | – | – | – | マイクロスイッチ（0.25A 24VDC） | マイクロスイッチ（0.25A 24VDC） | マイクロスイッチ（0.25A 24VDC） |
| 冷却方式 | 自然風冷 | 自然風冷 | 自然風冷 | 自然風冷 | 自然風冷 | 自然風冷 |
| 高周波接続用端子 | φ4mmボルト止め | φ4mmボルト止め | φ4mmボルト止め | φ4mmボルト止め | φ4mmボルト止め | φ4mmボルト止め |
| 設置場所温度 | 5℃～35℃ | 5℃～35℃ | 5℃～35℃ | 5℃～35℃ | 5℃～35℃ | 5℃～35℃ |
| 設置場所湿度 | 30%～80%（結露無きこと） | 30%～80%（結露無きこと） | 30%～80%（結露無きこと） | 30%～80%（結露無きこと） | 30%～80%（結露無きこと） | 30%～80%（結露無きこと） |
