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スパッタリング装置

ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置│昭和真空社製（SPC-2507-II）

真空蒸着装置

光学薄膜用蒸着装置｜昭和真空社製（SGC-S1700シリーズ）

その他装置

インライン式周波数調整装置｜昭和真空社製（SFE-X2012）

その他装置

ロードロック式周波数調整装置│昭和真空社製（SFE-B03-II）

真空蒸着装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応真空蒸着装置│昭和真空社製（SEC-22C）

その他装置

原子層堆積装置│昭和真空社製（ALDシリーズ）

真空蒸着装置

小型真空蒸着装置│昭和真空社製（SEC-06D/08C）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAPシリーズ）

赤外線イメージ炉

スポット集光型赤外線ゴールドイメージ炉│アドバンス理工社製（MIROシリーズ）

ガス分析計

ガス分析計｜アルバック社製（プロセスガスモニターCGM-2シリーズ）

ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプ│ライボルト社製（ECODRY plusシリーズ）

スパッタイオンポンプ

スパッタイオンポンプ│アルバック社製（PSTシリーズ）

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