ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAPシリーズ）
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ│ライボルト社製（ECODRY plusシリーズ）
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ│アルバック社製（PSTシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製（ＰＢＬシリーズ）
リークディテクタ
リークディテクター│ライボルト社製（PHOENIXシリーズ）
リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT900シリーズ）
バルブ/フランジ/配管部品
