
ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DAPシリーズ)

ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ│ライボルト社製(ECODRY plusシリーズ)

スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ│アルバック社製(PSTシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製(PBLシリーズ)

リークディテクタ
リークディテクター│ライボルト社製(PHOENIXシリーズ)

リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製(HELIOT900シリーズ)

バルブ/フランジ/配管部品