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リークディテクタ

ヘリウムリークディテクタ（ウェット＆ドライ）│エドワーズ社製＜ELD500シリーズ＞

スパッタリング装置

ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置│島津産機システムズ社製（STNTRON HSR-351シリーズ）

排気ユニット

排気セット│エドワーズ社製（ターボ分子ポンプステーションT-Station85）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（ロータリーポンプ2段排気方式/Gシリーズ）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（ロータリーポンプ1段排気方式/Gシリーズ）

ドライ真空ポンプ

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（RDAシリーズ）

ドライ真空ポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISシリーズ）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DTCシリーズ）

真空蒸着装置

小型蒸着装置│アルバックテクノ社製（VTR-060M/ERH）

排気ユニット

高真空排気装置│アルバック機工社製（VPCシリーズ）

スパッタリング装置

スパッタリング装置│アルバック機工社製（RFS-201）

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