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排気ユニット

小型高真空排気装置│アルバック社製（排気ユニットVMシリーズ）

排気ユニット

メカニカルブースターポンプ排気装置│アルバック機工社製（VMD-030）

排気ユニット

排気ユニット│アルバック機工社製（VPT-060）

ドライ真空ポンプ

回転翼型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DSBシリーズ）

メカニカルブースタポンプ

メカニカルブースタポンプ│アルバック機工社製（MBSシリーズ）

ドライ真空ポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISLシリーズ）

キャパシタンスマノメータ

真空計│アルバック社製（セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ）

スパッタリング装置

ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置│昭和真空社製（SPC-2507-II）

真空蒸着装置

光学薄膜用蒸着装置｜昭和真空社製（SGC-S1700シリーズ）

その他装置

インライン式周波数調整装置｜昭和真空社製（SFE-X2012）

その他装置

ロードロック式周波数調整装置│昭和真空社製（SFE-B03-II）

真空蒸着装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応真空蒸着装置│昭和真空社製（SEC-22C）

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