
排気ユニット
排気ユニット│アルバック機工社製(VPT-060)

ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DSBシリーズ)

メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ│アルバック機工社製(MBSシリーズ)

ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DISLシリーズ)

キャパシタンスマノメータ
真空計│アルバック社製(セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ)

スパッタリング装置
ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置│昭和真空社製(SPC-2507-II)

その他装置
原子層堆積装置│昭和真空社製(ALDシリーズ)

真空蒸着装置