排気ユニット
排気ユニット│アルバック機工社製（VPT-060）
ドライ真空ポンプ
回転翼型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DSBシリーズ）
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ│アルバック機工社製（MBSシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISLシリーズ）
キャパシタンスマノメータ
真空計│アルバック社製（セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ）
スパッタリング装置
ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置│昭和真空社製（SPC-2507-II）
その他装置
原子層堆積装置│昭和真空社製（ALDシリーズ）
真空蒸着装置
