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真空ポンプ

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油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ/ロータリーポンプ│アルバック社製（VDシリーズ　Ver C.）

ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプ│日本ブッシュ社製（MVシリーズ：MV0312B）

Model:CRYO-U8HSP

クライオポンプ

スパッタリングプロセス用クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-SPシリーズ）

スーパートラップModel:CRYO-T6

クライオポンプ

スーパークライオポンプ│アルバック・クライオ社製（トラップシリーズ：CRYO-T）

CRYO-U8HL

クライオポンプ

クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-ULシリーズ）

クライオポンプ

クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（Speed TSシリーズ）

クライオポンプ

クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-Uシリーズ）

油拡散ポンプ

油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）

排気ユニット

排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）

油拡散ポンプ

油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LRシリーズ）

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