
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ│日本ブッシュ社製(MVシリーズ:MV0312B)

クライオポンプ
クライオポンプ│アルバック・クライオ社製(CRYO-Uシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製(ULKシリーズ)

排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製(YMVシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製(PFLシリーズ)

ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製(UTM-MIシリーズ)

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