オプション真空計電源・部品・材料
1チャンネルディスプレイ│アルバック社製（ISG1）
真空計電離真空計
冷陰極電離真空計│アルバック社製（SC1）
真空計電離真空計
熱陰極電離真空計│アルバック社製 GI-D7（WIT/WIB）
真空計電離真空計
熱陰極電離真空計│アルバック社製（SH200-A/R/E)
真空計電離真空計
熱陰極電離真空計│アルバック社製（ST200-A/R/E）
真空計ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（SW100-A/R）
リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT MONO）
コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
ドライ真空ポンプ
