
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製(DC-30-44H-E)

ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製(UTM-MIシリーズ)

ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製(SP1)

ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製(LRシリーズ)

スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ│アルバック社製(PSTシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製(PBLシリーズ)

リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製(HELIOT900シリーズ)

バルブ/フランジ/配管部品