コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-30-44H-E）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）
ピラニ真空計
ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）
ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LRシリーズ）
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ│アルバック社製（PSTシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製（ＰＢＬシリーズ）
リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT900シリーズ）
バルブ/フランジ/配管部品
