コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
キャパシタンスマノメータ
真空計│アルバック社製（セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LSシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（DC-Dシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）
ピラニ真空計
