
コンポーネント電源
RF電源/マッチングボックス│アルバック社製(RFS-Nシリーズ)

キャパシタンスマノメータ
真空計│アルバック社製(セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ)

ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ│アルバック社製(LSシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製(ULKシリーズ)

コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製(DC-AMシリーズ)

排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製(YMVシリーズ)

コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製(DC-Dシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製(PFLシリーズ)

ピラニ真空計