リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT MONO）
コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LSシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
コンポーネント電源
電話によるお問い合わせ
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