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ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）

油拡散ポンプ

油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）

ピラニ真空計

ピラニ真空計│アルバック社製（SP1）

ピラニ真空計

ピラニ真空計│アルバック社製（GP-Gシリーズ）

真空蒸着装置

卓上型全自動制御真空蒸着装置│島津産機システムズ社製（E-250DT）

その他装置

ウエハトリミング装置│昭和真空社製（SST-M01T）

その他装置

金属膜+保護膜成膜装置（射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム）│昭和真空社製（SPP-SERIES）

スパッタリング装置

ロードロック式 スパッタ装置│昭和真空社製（SPH-2500T-Ⅱ）

スパッタリング装置

ロードロック式 通過型スパッタ装置│昭和真空社製（SPH-2410-Ⅱ）

その他装置

プラズマクリーナー（デスカム･表面改質･アッシング処理）│昭和真空社製（SPE-2136A）

コンポーネント電源

CC-10データロガーソフト│VISTA社製（P-LOGGER）

表面分析装置

高性能触針式プロファイリングシステム│ブルカージャパン社製（Dektak Pro）

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