
排気ユニット
高真空排気装置│アルバック機工社製(VPCシリーズ)

スパッタリング装置
スパッタリング装置│アルバック機工社製(RFS-201)

ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DTUシリーズ)

ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DAUシリーズ)

ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DATシリーズ)

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