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排気ユニット

高真空排気装置│アルバック機工社製（VPCシリーズ）

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スパッタリング装置│アルバック機工社製（RFS-201）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（MD4UNTシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（MD4UCNTシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DTUシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAUシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DATシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DALシリーズ）

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAシリーズ（2段排気方式））

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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAシリーズ（1段排気方式））

排気ユニット

小型高真空排気装置│アルバック社製（排気ユニットVMシリーズ）

排気ユニット

メカニカルブースターポンプ排気装置│アルバック機工社製（VMD-030）

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