ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（RDAシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISシリーズ）
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）
ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DTCシリーズ）
排気ユニット
高真空排気装置│アルバック機工社製（VPCシリーズ）
スパッタリング装置
スパッタリング装置│アルバック機工社製（RFS-201）
ドライ真空ポンプ
