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真空計ピラニ真空計

ピラニ真空計│アルバック社製（SW100-A/R）

ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品

エレメント Aタイプ（油水分離）│大成技研社製

ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品

エレメント S-1-10-10（プレフィルター）│大成技研社製

ポンプ補器電源・部品・材料消耗品

サンエレメント│大成技研社製

ポンプ補器真空ポンプ

サンセパレータークリーナー SUN-3SPWE│大成技研社製

ポンプ補器真空ポンプ

サンオイルクリーナー SUN-100B│大成技研社製

オプション

スニッファーユニットシリーズ│アルバック社製（HELIOT900Series用）

リークディテクタ

リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT MONO）

表面分析装置

3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製（Contour X-200）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプGVシリーズ（マグネットカップリングタイプ）│アルバック機工社製

コンポーネント電源

RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）

ピラニ真空計

コンパクトピラニゲージ│エドワーズ社製（APG200シリーズ）

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