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油回転真空ポンプ

オイルシール型ロータリーベーンポンプ│エドワーズ社製（小型EMシリーズ）

リークディテクタ

ヘリウムリークディテクタ（ウェット＆ドライ）│エドワーズ社製＜ELD500シリーズ＞

スパッタリング装置

ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置│島津産機システムズ社製（STNTRON HSR-351シリーズ）

排気ユニット

排気セット│エドワーズ社製（ターボ分子ポンプステーションT-Station85）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（ロータリーポンプ2段排気方式/Gシリーズ）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（ロータリーポンプ1段排気方式/Gシリーズ）

ドライ真空ポンプ

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（RDAシリーズ）

ドライ真空ポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISシリーズ）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DTCシリーズ）

真空蒸着装置

小型蒸着装置│アルバック機工社製（VTR-350M/ERH）

真空蒸着装置

小型蒸着装置│アルバック機工社製（VTR-060M/ERH）

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