
油回転真空ポンプ
オイルシール型ロータリーベーンポンプ│エドワーズ社製(小型EMシリーズ)

ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(RDAシリーズ)

ドライ真空ポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製(DISシリーズ)

油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製(GLS・GLDシリーズ)

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