クライオポンプ
クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-Uシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（PFLシリーズ）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）
ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LRシリーズ）
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）
排気ユニット
