ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品
エレメント Aタイプ（油水分離）│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品
エレメント S-1-10-10（プレフィルター）│大成技研社製
ポンプ補器電源・部品・材料消耗品
サンエレメント│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ
サンセパレータークリーナー SUN-3SPWE│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ
サンオイルクリーナー SUN-100B│大成技研社製
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（STPシリーズ）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│エドワーズ社製（nEXTシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ│エドワーズ社製（GXSシリーズ）
ドライ真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LSシリーズ）
油回転真空ポンプ
