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計測・分析機器

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表面分析装置

3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製（Contour X-200）

表面分析装置

フルオート多機能走査型X線 光電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI GENESIS）

リークディテクタ

ヘリウムリークディテクタ（ウェット＆ドライ）│エドワーズ社製＜ELD500シリーズ＞

ガス分析計

走査型オージェ電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI 710）

ガス分析計

四重極型二次イオン質量分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI ADEPT-1010）

ガス分析計

走査型オージェ電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI 4800）

薄膜計測

薄膜コーティング│アルバックテクノ社製（薄膜受託事業）

ガス分析計

飛行時間型二次イオン質量分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI nanoTOF 3+：TOF-SIMS）

ガス分析計

走査型デュアルX線光電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI Quantes）

ガス分析計

差動排気系キット付四重極型質量分析│アルバック社製（Qulee with YTP-H）

表面分析装置

3次元白色光干渉顕微鏡│ブルカージャパン社製（Contour X-100）

表面分析装置

多機能摩擦摩耗試験機│ブルカージャパン社製（UMT-TriboLab）

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