ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品
エレメント Aタイプ（油水分離）│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ電源・部品・材料消耗品
エレメント S-1-10-10（プレフィルター）│大成技研社製
ポンプ補器電源・部品・材料消耗品
サンエレメント│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ
サンセパレータークリーナー SUN-3SPWE│大成技研社製
ポンプ補器真空ポンプ
サンオイルクリーナー SUN-100B│大成技研社製
リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT MONO）
コンポーネント電源
RF電源／マッチングボックス│アルバック社製（RFS-Nシリーズ）
ターボ分子ポンプ
