ドライ真空ポンプ
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DATシリーズ）
ドライ真空ポンプ
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DOPシリーズ）
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）
排気ユニット
高真空排気装置│アルバック機工社製（VPCシリーズ）
スパッタリング装置
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