
コンポーネント電源
RF電源オプション│アルバック社製(MEX-N)

ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製(HRシリーズ)

コンポーネント電源
ターゲット切替器│アルバック社製(EXN-Aシリーズ)

ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製(LRシリーズ)

コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製(DC-30-44H-E)

コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製(DC-AMシリーズ)

コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製(DC-Dシリーズ)

油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製(ULKシリーズ)

排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製(YMVシリーズ)

ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製(UTM-MIシリーズ)

油拡散ポンプ