コンポーネント電源
RF電源オプション│アルバック社製（MEX-N）
ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（HRシリーズ）
コンポーネント電源
ターゲット切替器│アルバック社製（EXN-Aシリーズ）
ドライ真空ポンプ
ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（LRシリーズ）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-30-44H-E）
コンポーネント電源
大容量DC電源│アルバック社製（DC-AMシリーズ）
コンポーネント電源
DC電源│アルバック社製（DC-Dシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散ポンプ│アルバック社製（ULKシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック社製（YMVシリーズ）
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ│アルバック社製（UTM-MIシリーズ）
油拡散ポンプ
