油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製（ＰＢＬシリーズ）
リークディテクタ
リークディテクター│ライボルト社製（PHOENIXシリーズ）
リークディテクタ
リークディテクタ│アルバック社製（HELIOT900シリーズ）
バルブ/フランジ/配管部品
真空アングルバルブ│アルバック社製（VLPシリーズ）
コンポーネント電源
RF電源オプション│アルバック社製（MEX-N）
ドライ真空ポンプ
多段ルーツ型ドライ真空ポンプ│アルバック社製（HRシリーズ）
コンポーネント電源
ターゲット切替器│アルバック社製（EXN-Aシリーズ）
ドライ真空ポンプ
