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薄膜計測

薄膜コーティング│アルバックテクノ社製（薄膜受託事業）

極高真空計

ワイドレンジ真空計│VISTA社製（CC-10）

ガス分析計

差動排気系キット付四重極型質量分析│アルバック社製（Qulee with YTP-H）

ピラニ真空計

スマートフォン対応ピラニ真空計│アルバック社製（SWU10-U）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ/ロータリーポンプ│アルバック社製（VDシリーズ　Ver C.）

ガス分析計

走査型オージェ電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI 4800）

ガス分析計

走査型オージェ電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI 710）

ガス分析計

走査型デュアルX線光電子分光分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI Quantes）

ガス分析計

四重極型二次イオン質量分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI ADEPT-1010）

ガス分析計

飛行時間型二次イオン質量分析装置│アルバック･ファイ社製（PHI nanoTOF 3+：TOF-SIMS）

その他装置

He回収/再精製装置│マルナカ社製

ヘリウムリークテスト装置

ヘリウムリーク/エアリーク洩れ検査装置│マルナカ社製

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