油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製（GLS・GLDシリーズ）
排気ユニット
高真空排気装置│アルバック機工社製（VPCシリーズ）
排気ユニット
排気ユニット│アルバック機工社製（VPT-060）
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ│アルバック機工社製（MBSシリーズ）
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ│ライボルト社製（ECODRY plusシリーズ）
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプ│アルバック社製（PSTシリーズ）
油拡散ポンプ
油拡散エゼクタポンプ│アルバック社製（ＰＢＬシリーズ）
ドライ真空ポンプ
