
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ│アルバック機工社製(GLS・GLDシリーズ)

排気ユニット
高真空排気装置│アルバック機工社製(VPCシリーズ)

排気ユニット
排気ユニット│アルバック機工社製(VPT-060)

メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ│アルバック機工社製(MBSシリーズ)

ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ│ライボルト社製(ECODRY plusシリーズ)

スパッタイオンポンプ
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