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ドライ真空ポンプ

スクロール型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DISシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAPシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DAUシリーズ）

ドライ真空ポンプ

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DATシリーズ）

ドライ真空ポンプ

揺動ピストン型ドライ真空ポンプ│アルバック機工社製（DOPシリーズ）

排気ユニット

排気セット│エドワーズ社製（ターボ分子ポンプステーションT-Station85）

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプ/ロータリーポンプ│アルバック社製（VDシリーズ　Ver C.）

ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプ│日本ブッシュ社製（MVシリーズ：MV0312B）

Model:CRYO-U8HSP

クライオポンプ

スパッタリングプロセス用クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-SPシリーズ）

スーパートラップModel:CRYO-T6

クライオポンプ

スーパークライオポンプ│アルバック・クライオ社製（トラップシリーズ：CRYO-T）

CRYO-U8HL

クライオポンプ

クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（CRYO-ULシリーズ）

クライオポンプ

クライオポンプ│アルバック・クライオ社製（Speed TSシリーズ）

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