バルブ/フランジ/配管部品
真空アングルバルブ│アルバック社製（VLPシリーズ）
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IF規格成形ベローズ│入江工研社製
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高真空アングルバルブ 自動：複動･単動［ノーマルオープン・クローズ］│入江工研社製（1FLV SERIES）
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高真空アングルバルブ手動│入江工研社製（1FLV SERIES 手動/Manual）
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インライントラップ│アルバック機工社製（OMI-100/OMI-200）
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