特長
- 1Wの低出力から制御が可能
- 500Hz～100kHzのパルスRF出力機能を標準搭載
- 外部同期端子を標準搭載
- 単相100V～220V / 50Hz～60Hzの幅広い入力が可能
- 200mm×200mm×350mm / 10kgの小型軽量な電源
- CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS
仕様
| Model | RMG-1303 | |
|---|---|---|
| 電源機能部 | 入力電圧 | 単相 AC100-220V |
| 入力容量 | 700VA以下 | |
| 発振周波数 | 13.56MHz±0.01% | |
| 定格電力 | 300W (50Ω負荷時) | |
| マッチング機能部 | 定格電力 | 300W |
| 許容出力電流 | 10Arms | |
| 許容出力電圧 | 2500Vpp/-2500Vdc(標準) ＊¹ | |
| 出力電極/オプション | 2-M4(標準)/N,HN,DIN7/16 ＊² | |
| 共通部 | 冷却方式 | 強制空冷 |
| 外形寸法 （突起物を含まない） |
W200×D350×H200（mm） | |
| 質量 | 約10kg | |
| 適合規格 | CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（欧州） | |
＊¹オプションで定格電圧の変更が可能です。
＊²オプションでコネクタ出力タイプへの変更が可能です。
