電話によるお問い合わせ

電話をかける

製品一覧へ

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

RF電源オプション│アルバック社製(MEX-N)

※価格についてはお問い合わせください。

プラズマ発生用電源のマッチングボックス用の切替機です。
主な装置はRF スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどです。

特長

  • 複数のマッチングボックスへ容易に切り替えることが可能です。
  • 同時放電しない場合に使用可能で、装置に搭載する電源数を減らし、装置コスト削減への貢献が可能です。
  • カソードとマッチングボックスを1対1で使用するので、インピーダンスの異なる様々なカソードの選択が可能です。

仕様

マッチングボックス切替台数
2台
マッチングボックス切替台数
3台
マッチングボックス切替台数
4台
マッチングボックス切替台数
5台
マッチングボックス切替台数
6台
マッチングボックス切替台数
7台
マッチングボックス切替台数
8台
500, 1kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k
3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k
5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k

この製品を導入した実績

見積もりフォーム

見積もり依頼をご希望の方は以下のフォームをご入力ください。

このフォームに入力するには、ブラウザーで JavaScript を有効にしてください。
具体的な製品名や型式・メーカー名が決まっている場合はご記入ください

このサイトはreCAPTCHAによって保護されておりGoogleのプライバシーポリシー利用規約が適用されます。