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※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値より引用
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

ターゲット切替器│アルバック社製(EXN-Aシリーズ)

※価格についてはお問い合わせください。

EXNシリーズは、ターゲット切替器として使用される装置で、複数の異なる用途に対する電力供給を行います。
DCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極なども含まれます。
このターゲット切替器は異なる切替接点数と切替方式を提供し、特定のアプリケーションに合わせて選択できるように設計されています。また、高周波接続用端子や冷却方式など、詳細な技術仕様が提供されています。

特長

マッチングボックスの出力を切り替え可能

EXNシリーズは、マッチングボックスの出力を切り替えることができます。これは、異なるターゲットやアプリケーションに異なる電力を供給する必要がある場合に便利です。

カソード別のマッチングボックスの設置不要

通常、異なるカソード(ターゲット)ごとに個別のマッチングボックスを設置する必要がありますが、EXNシリーズを使用することで、これらの個別の設置が不要になり、装置コストを削減できます。

切替方式

EXNシリーズは、手動とモーター駆動の2つの切替方式を提供しています。これにより、操作の柔軟性が向上し、使用者の要求に合わせて選択できます。さらに、より大電力に対応した水冷方式も提供されています。

DC電源およびDCパルス電源の出力切替

EXNシリーズは、DC電源およびDCパルス電源の出力を切り替えるためにも使用できます。これは、異なる電源が必要な場合に便利です。

1台で複数の用途に対応

通常、異なるマッチングボックスが異なる負荷に合わせて必要ですが、EXNシリーズを使用することで、1台のマッチングボックスで複数の用途に対応できます。ただし、整合範囲を超える負荷には使用できないことに注意してください。

効率的な電力供給切替

この装置は、異なる電極や電源への電力供給を効率的に切り替えるために使用され、装置のコスト削減や操作の簡素化に貢献します。

仕様

EXN2T-40A EXN3T-40A EXN4T-40A EXN2M-40A EXN3M-40A EXN4M-40A
切替接点数 2点 3点 4点 2点 3点 4点
切替方式 手動式 手動式 手動式 電動式 電動式 電動式
ホットスイッチ 使用不可 使用不可 使用不可 使用不可 使用不可 使用不可
使用周波数 DC-13.56MHz DC-13.56MHz DC-13.56MHz DC-13.56MHz DC-13.56MHz DC-13.56MHz
定格通電電流 40A 40A 40A 40A 40A 40A
接点間耐電圧 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間
接点-GND間耐電圧 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間 AC 10kV 1分間
モータ定格電圧 DC24V DC24V DC24V
モータ定格電流 0.22A(最大0.75A) 0.22A(最大0.75A) 0.22A(最大0.75A)
接点位置出力 マイクロスイッチ(0.25A 24VDC) マイクロスイッチ(0.25A 24VDC) マイクロスイッチ(0.25A 24VDC)
冷却方式 自然風冷 自然風冷 自然風冷 自然風冷 自然風冷 自然風冷
高周波接続用端子 φ4mmボルト止め φ4mmボルト止め φ4mmボルト止め φ4mmボルト止め φ4mmボルト止め φ4mmボルト止め
設置場所温度 5℃~35℃ 5℃~35℃ 5℃~35℃ 5℃~35℃ 5℃~35℃ 5℃~35℃
設置場所湿度 30%~80%(結露無きこと) 30%~80%(結露無きこと) 30%~80%(結露無きこと) 30%~80%(結露無きこと) 30%~80%(結露無きこと) 30%~80%(結露無きこと)

この製品を導入した実績

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