特長
- 超低アークエネルギーを実現。（高速アーク遮断回路）生産性や歩留まり向上に貢献します。
- ハイインピーダンス負荷に対応の1200V出力。
- EtherCAT対応により、装置の省配線に貢献します。
用途
- FPD用スパッタリング装置
- 半導体用スパッタリング装置
- タッチパネル用スパッタリング装置
- 産業コーティング用スパッタリング装置
仕様
| DC-30-44H-E | |
|---|---|
| 入力仕様 | |
| 入力電圧 | 3相 AC396V～484V |
| 入力容量 | 41.5kVA以下 |
| 出力仕様 | |
| 最大定格電力 | 30kW |
| 定格電流 | 55A |
| 定格電圧 | −1200V |
| イグニッション電圧 | −1500V |
| 異常放電制御 | 異常放電検出時に高速アーク遮断回路により遮断制御 |
| 制御 | |
| 制御方式 | 電力制御（P制御）／定電流制御（I制御）／定電圧制御（V制御） |
| 制御精度 | 定電力制御：定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%の大きい方 定電流制御：定格出力の±1%以下または設定値の±2%の大きい方 定電圧制御：定格出力の±1%以下または設定値の±2%の大きい方 |
| 制御保証範囲 | 定格電力量の10～100% |
| 外部制御 | Analog/Digital, RS-232Cまたは485, EtherCAT |
| その他 | |
| 並列運転 | 最大12台 |
| 冷却方式 | 強制空冷 |
| 外形寸法 | 483×650×177mm（突起物含まず） |
| 質量 | 45kg |
| 適合規格 | CE / SEMI F47 / RoHS指令 |
