特長
- ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。
- 排気の方向の選択ができます。装置設計の自由度が大きくなり装置のコンパクト化も可能です。
用途
真空炉等の大型チャンバー排気
仕様
| PMB-040C | PMB-060C | |
|---|---|---|
| 最大排気速度 | 50Hz：3,800 m3/h (63,300 L/min) 60Hz：3,800 m3/h (63,300 L/min) |
50Hz：6,200 m3/h (103,300 L/min) 60Hz：6,200 m3/h (103,300 L/min) |
| 最大吸入圧力 | 50Hz：8.0 x 102 Pa 60Hz：8.0 x 102 Pa |
50Hz：8.0 x 102 Pa 60Hz：8.0 x 102 Pa |
| 最大許容圧力差 | 50Hz：5.9 x 103 Pa 60Hz：5.9 x 103 Pa |
50Hz：5.1×103 Pa 60Hz：5.1×103 Pa |
| 到達圧力 *2 | 6.7 x 10-1 Pa | 6.7 x 10-1 Pa |
| 駆動可能圧力 | 8.0 x 10-2 Pa | 8.0 x 10-2 Pa |
| モータ形式*3 | 全閉外扇形 三相誘電動機 | 全閉外扇形 三相誘電動機 |
| モータ高効率*3 | IE3 | IE3 |
| モータ出力*3 | 15 kW (4 極数) | 18.5 kW (4 極数) |
| 電圧200V級モータ*3 | 50Hz：200V 60Hz：200/220V |
50Hz：200V 60Hz：200/220V |
| 使用油 *4 | SMR-200 | SMR-200 |
| 所要油量 | 8L | 8L |
| 冷却方式 *5 | 水冷 | 水冷 |
| 冷却水 | 一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.05Mpa 冷却水量：10L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.01Mpa 冷却水量：10L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
| 吸気口径 JIS-B-2290 | VG250 相当 | VG300 相当 |
| 排気口径 JIS-B-2290 | VF150 相当 | VF200 相当 |
| 外形寸法*7 | W772 xD1182 x H680mm | W772 xD1452 x H680mm |
| T1 / T2 |
50Hz：1570 / 900 mm 60Hz：1570 / 940 mm |
50Hz：1608 / 900 mm 60Hz：1608 / 940 mm |
| 質量 (モータ無し) | 970kg | 1100kg |
| 標準補助ポンプ | PKS-070B | PKS-070B x 2 |
| 標準付属品 |
取扱説明書1部、油1台分、Vベルト、基礎ボルト、モータプーリ | |
| オプション |
異電圧モータ | |
注)本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
6.7 x 10-1 Pa = 5 × 10-3 Torr
*1 ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、仕様油は標準）。
*2 結露しない環境でご使用ください。
*3 排気方向の選択ができます。
*4 その他の寸法については、お問合せください。
