特長
- 空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が可能です。
- マルチ電圧モータの選択可能（200V級、マルチ電圧）
汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ（オプション）の搭載も可能です。 - 耐腐食性に優れた表面処理（オプション : Tタイプ）
主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施します。ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。 - 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション : インバータ）
粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時間が短縮できます。 - 特殊用途向けにもオプション対応
標準の他、特殊用途向けの機種も用意しております。
| 使用例 | タイプ（種類） | 適用機種 | 表面処理 | 排気方向 | オイル |
|---|---|---|---|---|---|
| 空気や不活性ガス排気 水分吸着による到達圧力の影響を抑えたい場合 |
標準 | PMB100D, PMB300D, PMB600D, PMB1200D, PMB2400D | ✖ | 垂直 | |
| 空気や不活性ガス排気 表面処理で異物に対する強度Up |
T | PMB100D-T, PMB300D-T, PMB600D-T, PMB1200D-T, PMB2400D-T | 〇*1 | 垂直 |
*1 表面処理付の場合は、水分吸着による放出ガスにより排気時時間への影響がでる場合もあります。
用途
- 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
- 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
- 分析機器、リークテスト装置
- ガス置換、充填、真空断熱
- 熱処理炉、溶解炉
- その他各種真空装置
仕様
| PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大排気速度 | 50Hz：95(1,580)m3/h(L/min) 60Hz：115(1,920)m3/h(L/min) |
50Hz：280(4,670)m3/h(L/min) 60Hz：330(5,500)m3/h(L/min) |
50Hz：500(8,330)m3/h(L/min) 60Hz：600(10,000)m3/h(L/min) |
50Hz：1,000(16,667)m3/h(L/min) 60Hz：1200(20,000)m3/h(L/min) |
50Hz：2,000(33330)m3/h(L/min)・2,500(41,667)m3/h(L/min) 60Hz：2,400(40,000)m3/h(L/min)・3,100(51,667)m3/h(L/min) |
| 最大吸入圧力 | 50Hz：9.3×103Pa 60Hz：6.2×103Pa |
50Hz：1.2×103Pa 60Hz：9.3×102Pa |
50Hz：1.3×103Pa 60Hz：1.1×103Pa |
50Hz：1.3×103Pa 60Hz：1.1×103Pa |
50Hz：2.0×103/8.0×102Pa 60Hz：1.5×103/6.7×102Pa |
| 最大許容圧力差 | 50Hz：8.0×103Pa 60Hz：5.6×103Pa |
50Hz：4.0×103Pa 60Hz：3.3×103Pa |
50Hz：7.3×103Pa 60Hz：6.0×103Pa |
50Hz：7.3×103Pa 60Hz：6.0×103Pa |
50Hz：3.5×103/4.7×103Pa 60Hz：3.0×103/4.7×103Pa |
| 到達圧力 *2 | 4.0×10⁻¹Pa |
4.0×10⁻¹Pa | 4.0×10⁻¹Pa | 6.7×10⁻¹Pa | 6.7×10⁻¹Pa |
| 駆動可能圧力 | ～1.0×105 (大気圧駆動型)Pa | ～1.0×105 (大気圧駆動型)Pa | ～1.0×105 (大気圧駆動型)Pa | ～1.0×105 (大気圧駆動型)Pa | ～1.0×105 (大気圧駆動型)Pa |
| モータ出力(極数)*3 | 0.4(2)kW(極数) | 0.75(2)kW(極数) | 2.2(2)kW(極数) | 3.7(2)kW(極数) | 7.5(2)kW(極数) |
| 200V級モータ*3 | 50Hz：200V 60Hz：200/220V |
50Hz：ー 60Hz：ー |
50Hz：ー 60Hz：ー |
50Hz：ー 60Hz：ー |
50Hz：ー 60Hz：ー |
| マルチ電圧モータ*3 | 50Hz：220～240/380～415 60Hz：208～240/380～460 |
50Hz：200～240/380～415 60Hz：200～240/380～460 |
50Hz：200～240/380～415 60Hz：200～240/380～460 |
50Hz：200～240/380～415 60Hz：200～240/380～460 |
50Hz：200～240/380～415 60Hz：200～240/380～460 |
| 使用油 *4 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 | SMR-100 |
| 所要油量 | 0.35L | 0.7L | 1.5L | 1.9L | 4L |
| 冷却方式 *5 | 空冷 | 空冷／水冷 | 空冷／水冷 | 空冷／水冷 | 空冷／水冷 |
| 冷却水 | 一次側圧力：一 出入口差圧：ー 冷却水量：ー 冷却水温度 *6：ー |
一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.05Mpa 冷却水量：2L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.05Mpa 冷却水量：2L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.05Mpa 冷却水量：3L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
一次側圧力：0.3Mpa 出入口差圧：0.05Mpa 冷却水量：3L/min 冷却水温度 *6：5～30℃ |
| 吸気口径 JIS-B-2290 | VG50相当 | VG80相当 | VG80相当 | VG100相当 | VG200相当 |
| 排気口径 JIS-B-2290 | VF50相当 | VF80相当 | VF80相当 | VF80相当 | VF200相当 |
| 外形寸法*7 | W267×D576×H180mm | W321×D685×H260mm | W362×D784×H320mm | W417×D970×H340mm | W520×D1260×H460mm |
| 質量 | 26kg | 51kg | 82kg | 115kg | 260kg |
| 標準補助ポンプ | VD40C | VD60C | VD90C | VS2401 | PKS-070B、VS650B |
| 国際規格 | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus | CE、cTUVus |
| 大気圧駆動 インバータ仕様／電圧対応 |
200V級：I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) *8 400V級：I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) *8 |
200V級：I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) *8 400V級：I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) *8 |
200V級：I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) *8 400V級：I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) *8 |
200V級：I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) *8 400V級：I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) *8 |
200V級：I2,A2/200V～240V(50Hz/60Hz) *8 400V級：I4,A4/380V～480V(50Hz/60Hz) *8 |
注)本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
4.0×10-1Pa=3.0×10-3Torr
*1 標準品は表面処理 (陽極酸化被膜) なし。 オプションで表面処理付きも選択できます。
*2 ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準)。 マクラウド真空計では 4.0×10-2 Paになります。
*3 PMB100D のみ 200V級 と マルチ電圧 からモータをお選び頂けます。
防爆モータ対応の場合は、マルチ電圧対応はできません。
*4 空冷仕様の使用油は、SMR-200になります。オプションで鉱物油：SMR-200、
フッ素油：J25Fが選定できます。
*5 インバータ仕様を選択頂くことで、全圧力領域での運転が可能となります。
インバータ仕様をご注文時の際には 空冷, 水冷 の仕様をご指定ください。
水冷仕様のインバータで空冷運転はできません。
PMB600D、1200D、2400D は、300 Pa ～ 4,000 Pa の圧力範囲で 1hr 以上圧力保持を行うと
ポンプ破損の原因となります。その場合は、水冷を選択してください。
*6 冷却水温度が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。
*7 その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。
*8 I2,I4は水冷設定。A2,A4は水冷設定のインバータを示します。
