RF電源オプション│アルバック社製（MEX-N）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- RF電源オプション│アルバック社製（MEX-N）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 MEX-N メーカー ㈱アルバック
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製品説明
プラズマ発生用電源のマッチングボックス用の切替機です。
主な装置はRF スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどです。
2台接続：MEX2N-1k(500,1kW)、MEX2N-3k(3kW)、MEX2N-5k(5kW)
3台接続：MEX2N-3k(500,1kW)、MEX3N-3k(3kW)、MEX3N-5k(5kW)
４台接続：MEX4N-1k(500,1kW)、MEX4N-3k(3kW)、MEX4N-5k(5kW)
５台接続：MEX5N-1k(500,1kW)、MEX5N-3k(3kW)
６台接続：MEX6N-1k(500,1kW)、MEX6N-3k(3kW)
７台接続：MEX7N-1k(500,1kW)、MEX7N-3k(3kW)
８台接続：MEX8N-1k(500,1kW)、MEX8N-3k(3kW)
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
‧ 複数のマッチングボックスへ容易に切り替えることが可能です。
‧ 同時放電しない場合に使用可能で、装置に搭載する電源数を減らし、装置コスト削減への貢献が可能です。
‧ カソードとマッチングボックスを1対1で使用するので、インピーダンスの異なる様々なカソードの選択が可能です。
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