特長
- メカニカルブースタポンプ（MBP）直載せ可能です。
MBPマウントキットにより、架台不要でMBPの搭載が可能となりました。 - サーモスタットを標準搭載しています。
サーモスタットを利用することでポンプの異常な温度上昇を検知し、オイル量の減少やポンプの異常をお知らせします。 - オイルミストフィルタ内臓の大型オイルタンクです。
大型オイルタンク（油量：23~30L）で油の交換頻度を少なくします。
オイルタンク内にカートリッジ式で交換容易なオイルミストフィルタを内蔵しています。
オイルミストフィルタで回収した油は自動的にポンプに戻します。
オイルフィルタ採用でオイルに混ざるダストを除去します。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| VS650B-A | VS650B-W | VS650B-WL※1 | VS750B-A | VS750B-W | |
|---|---|---|---|---|---|
| 設計排気速度 | 50Hz：650（10,833）m3 / hr (L/min) 60Hz：750（12,500）m3 / hr (L/min) |
50Hz：600（10,000）m3 / hr (L/min) 60Hz：600（10,000）m3 / hr (L/min) |
50Hz：750（12,500）m3 / hr (L/min) 60Hz：運転できません |
||
| 到達圧力 | GP閉：≦ 8Pa GP開：≦ 70Pa |
GP閉：≦ 8Pa GP開：≦ 70Pa |
GP閉：≦ 8Pa GP開：≦ 70Pa |
GP閉：≦ 8Pa GP開：≦ 70Pa |
GP閉：≦ 8Pa GP開：≦ 70Pa |
| 消費電力 (到達圧力時） |
50Hz：8kW 60Hz：11kW |
50Hz：8kW 60Hz：11kW |
50Hz：8kW 60Hz：11kW |
50Hz：11kW 60Hz：ー |
50Hz：11kW 60Hz：ー |
| モータ | 型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：22（4）kW(Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：22（4）kW(Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：22（4）kW(Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：22（4）kW(Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：22（4）kW(Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
| 騒音値※2（到達圧力時） | 50Hz：75dB 60Hz：80dB |
50Hz：75dB 60Hz：80dB |
50Hz：72dB 60Hz：72dB |
50Hz：80dB 60Hz：ー |
50Hz：80dB 60Hz：ー |
| 使用油 | SMR-200 | SMR-200 | SMR-200 | SMR-200 | SMR-200 |
| 所要油量 | 23～27L | 25～30L | 25～30L | 23～27L | 25～30L |
| 冷却方式 | 空冷 | 水冷 | 水冷 | 空冷 | 水冷 |
| 冷却水 一次側圧力 | ー | ≦0.5MPaG | ≦0.5MPaG | ー | ≦0.5MPaG |
| 冷却水 出入口差圧 | ー | ≦0.1MPaG | ≦0.1MPaG | ー | ≦0.1MPaG |
| 冷却水量 | ー | ≧3.0L/min | ≧3.0L/min | ー | ≧3.0L/min |
| 冷却水温度 | ー | 5～30℃ | 5～30℃ | ー | 5～30℃ |
| 冷却水Δｔ | ー | ≦60 | ≦60 | ー | ≦60 |
| 吸気口フランジ | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K |
| 排気口フランジ | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K |
| 質量 | 約 820kg | 約 820kg | 約 820kg | 約 820kg | 約 820kg |
| 外形寸法 | W1490×D905×H705mm | W1490×D841×H705mm | W1490×D841×H705mm | W1490×D905×H705mm | W1490×D841×H705mm |
| 海外安全規格 | ー | ー | ー | ー | ー |
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
※1 VS650B-WLは50Hz／60Hzの指定が必要です。モータプーリの変更により、50Hz／60Hzで同じ排気速度にしています。
※2 ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
