特長
- 水冷と強制給油方式の採用で、高負荷運転時でもシリンダーへの油供給が満たされ、差圧給油方式と比べ安定した排気性能が得られます。
- 油圧式オイルアンチサックの採用でポンプ停止時、オイルタンクから吸気側への油の逆流を抑える事ができます。
- メンテナンスを考慮した設計で、油の状態を監視しやすい大型オイルレベルゲージの採用の他、オイルタンク洗浄用、排気弁交換用などのメンテナンスカバーが付いています。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| VS1501 | VS2401 | |
|---|---|---|
| 設計排気速度 | 50Hz：150（2500）m3 /hr (L/min) 60Hz：180（3000）m3 /hr (L/min) |
50Hz：240（4000）m3 /hr (L/min) 60Hz：288（4800）m3 /hr (L/min) |
| 到達圧力 | GP閉：≦ 5.3Pa GP開：≦ 80Pa |
|
| 消費電力(到達圧力時） | 50Hz：2.3kW 60Hz：2.9kW |
50Hz：2.8kW 60Hz：3.6kW |
| モータ | 型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：5.5（4）kW (Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：7.5（4）kW (Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
| 騒音値※1（到達圧力時） | 50Hz：67dB 60Hz：67dB |
50Hz：73dB 60Hz：73dB |
| 使用油 | SMR-200 | |
| 所要油量 | 8～10.5L | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水 一次側圧力 | ≦0.5MPaG | |
| 冷却水 出入口差圧 | ≧0.1MPaG | |
| 冷却水量 | ≧4.0L/min | ≧5.0L/min |
| 冷却水温度 | 5～30℃ | |
| 冷却水Δｔ | ≦1℃ | |
| 吸気口フランジ | VG80相当 | |
| 排気口フランジ | VG50相当 | |
| 質量 | 232kg | 271kg |
| 外形寸法 | W300×D941×H460mm | W333×D1061×H460mm |
| 海外安全規格 | ー | ー |
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
※1 ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
