特長
- クラス最小（874×404mm）のコンパクト設計です。
- メカニカルブースタポンプ（MBP）直載せ可能、
MBPマウントキットにより、架台不要でMBPの搭載が可能です。 - オイルミストセパレータと油回収機構が内臓されています。
- 外部への油漏れが起こりにくい構造。
オイルシールとシールドベアリングの2段階で油漏れを防止します。 - オリジナルのIE3高効率マルチ電圧モータ搭載、
1台のモータで幅広い電圧に対応可能です。
用途
- 光学膜蒸着装置
- リフレクタ蒸着装置
- 加飾用蒸着装置
- フィルム巻取り蒸着装置
- インラインスパッタ装置
- ベーク炉 / 熱処理炉
- 凍結乾燥装置
- リークテスト装置
- スペースチャンバー
仕様
| VS300A-W | |
|---|---|
| 設計排気速度 | 50Hz：250 (4,166)m3 /hr (L/min) 60Hz：300 (5,000)m3 /hr (L/min) |
| 到達圧力*１ | GP閉：≦15Pa GP開：≦200Pa |
| 消費電力(到達圧力時） | 50Hz：2.8kW 60Hz：3.1kW |
| モータ | 型式：全閉外扇形 三相誘導電動機 容量：7.5（４）kW (Poles） 50Hz：200～240 / 380～415V 60Hz：200～240 / 380～460V |
| 騒音値*２（到達圧力時） | 50Hz：70dB 60Hz：74dB |
| 使用油 | SMR-200 |
| 所要油量 | 10～15L |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水 | 一次側圧力：≦0.3MPaG 出入口差圧：≧0.1MPaG 冷却水量：≧3.0L/min 冷却水温度：5～30℃ 冷却水Δｔ：≦25℃ |
| 吸気口フランジ | DN63 ISO-F |
| 排気口フランジ | G2 |
| 質量 | 270kg |
| 外形寸法 | W404×D871×H585mm |
| 海外安全規格 | CE、cTUVus |
注意：本資料は、SI単位系を採用しています。
*１ 到達圧力（GP閉）時はスローリークさせています。スローリークバルブを閉じると≦8Paになります。
*２ ISO2151に基づいて測定・計算した平均音圧レベルになります。
