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EXNシリーズは、ターゲット切替器として使用される装置で、複数の異なる用途に対する電力供給

DCスパッタ用電極やRFスパッタ用電極なども含まれます。

 

EXN2T-40A: 2点の切替接点

EXN3T-40A: 3点の切替接点

EXN4T-40A: 4点の切替接点

EXN2M-40A: 2点の切替接点（電動式）

EXN3M-40A: 3点の切替接点（電動式）

EXN4M-40A: 4点の切替接点（電動式）

ホットスイッチ: ホットスイッチは使用不可

使用周波数: DC-13.56MHz

定格通電電流: 40A

接点間: AC 10kV 1分間（50/60Hz）

接点-GND間: AC 10kV 1分間（50/60Hz)

切替方式　手動式: 手動で切替え

　　　　　電動式: モーターによる電動切替え

モータ定格電圧: DC24V

モータ定格電流: 0.22A（最大0.75A）

接点位置出力: マイクロスイッチ（接点容量 0.25A 24VDC）

冷却方式: 自然風冷（ファンを使用しない冷却方式）

高周波接続用端子: O4mmボルト止め

設置場所温度: 5℃～35℃

設置場所湿度: 30%～80%（ただし結露無きこと）

 

これらの仕様に基づいて、このターゲット切替器は異なる切替接点数と切替方式を提供し、特定のアプリケーションに合わせて選択できるように設計されています。また、高周波接続用端子や冷却方式など、詳細な技術仕様が提供されています。

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

マッチングボックスの出力を切り替え可能：EXNシリーズは、マッチングボックスの出力を切り替えることができます。これは、異なるターゲットやアプリケーションに異なる電力を供給する必要がある場合に便利です。

カソード別のマッチングボックスの設置不要：通常、異なるカソード（ターゲット）ごとに個別のマッチングボックスを設置する必要がありますが、EXNシリーズを使用することで、これらの個別の設置が不要になり、装置コストを削減できます。

切替方式：EXNシリーズは、手動とモーター駆動の0つの切替方式を提供しています。これにより、操作の柔軟性が向上し、使用者の要求に合わせて選択できます。さらに、より大電力に対応した水冷方式も提供されています。

DC電源およびDCパルス電源の出力切替：EXNシリーズは、DC電源およびDCパルス電源の出力を切り替えるためにも使用できます。これは、異なる電源が必要な場合に便利です。

マッチングボックスは1台：通常、異なるマッチングボックスが異なる負荷に合わせて必要ですが、EXNシリーズを使用することで、1台のマッチングボックスで複数の用途に対応できます。ただし、整合範囲を超える負荷には使用できないことに注意してください。

この装置は、異なる電極や電源への電力供給を効率的に切り替えるために使用され、装置のコスト削減や操作の簡素化に貢献します。