製品情報 PRODUCT

 DC-10-Dは10kW、DC-20-Dは20kWの出力を持っています。

これは、スパッタリングプロセスに必要な電力を確保するためのものであり、異なるプロセス条件に適応できる柔軟性を提供します。

信頼性のある部品と回路で構成”とされており、製品全体が高い信頼性を持つように設計されています。

これは、産業用途において安定性が求められる要素であり、プロセスの一貫性を保つために重要です。

長年にわたる電源のアプリケーションに関するノウハウが設計に反映されているとのこと。

これは、製品の開発者が実際の使用状況や市場のニーズに対応するために蓄積した知識が製品に組み込まれていることを示唆しています。

【用途】

FPD用スパッタリング装置は、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなど、平面ディスプレイ製造に使用されます。

半導体用スパッタリング装置は、半導体デバイスの製造プロセスにおいて金属薄膜を堆積するために使用されます。

電子部品用スパッタリング装置は、抵抗体やコンデンサなどの電子部品の製造に使用されます。

産業コーティング用スパッタリング装置は、産業製品や機械部品などの表面にコーティングを施すために使用されます。

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

‧ 軽量化‧省スペース化

‧ プラズマを精通した出力制御

‧ 出力電圧は800V仕様と1000V仕様

‧ 強制空冷方式の為、冷却水不要

‧ ARC機能と高速ARC遮断回路を搭載

‧ MAX12台（240kW）まで並列運転が可能

【オプション機能】

1. High Performance RAMP

放電前の出力（イグニッション動作）を制御し、放電開始時の急激な出力変化を抑制する機能。

通常は放電後の出力制御が一般的であるが、この機能では放電前に出力を制御することで、放電開始時の電力の急激な上昇を抑制し、放電の安定化を図る。

2. High Speed ARC Handling

設定に対する高精度な出力を実現し、正確な連続繰り返し再現性を持つ機能。

保証値範囲が通常の10～100％ではなく、このパッケージを追加した機器では1％から保証。

出力のばらつきが少なく、何千・何万回と繰り返すプロセスでも高い再現性を保つ。

3.High Speed ARC Handling

5μ秒のARC（放電）遮断時間を実現する新しいARC制御機能。

異常放電を感知した場合、遮断時間を最大限短縮し、放電維持を容易にし、プロセスの安定化を図る。

短い遮断時間は成膜材料クリーニングのためのプレスパッタ時間の短縮にも寄与。

4. Superior Performance ARC Handling

異常放電の感知後の出力遮断時間をDC電源自身が異常放電レベルを判断し、最適な遮断が実行できる機能。

通常のDC電源では一つの遮断設定しかできないが、この機能はDC電源が異常放電に対して最適な遮断を判断し、異常放電の再発生確率を低減し、成膜プロセスの効率化を図る。

これらの機能は、単体でも複数でも、あるいは既存のDC電源に追加して利用可能なパッケージとなっており、異常放電の管理やプロセスの安定化向上に寄与します。