特長
- 軽量化‧省スペース化
- プラズマを精通した出力制御
- 出力電圧は800V仕様と1000V仕様
- 強制空冷方式の為、冷却水不要
- ARC機能と高速ARC遮断回路を搭載
- MAX12台（240kW）まで並列運転が可能
用途
FPD用スパッタリング装置
液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなど、平面ディスプレイ製造に使用されます。
半導体用スパッタリング装置
半導体デバイスの製造プロセスにおいて金属薄膜を堆積するために使用されます。
電子部品用スパッタリング装置
抵抗体やコンデンサなどの電子部品の製造に使用されます。
産業コーティング用スパッタリング装置
産業製品や機械部品などの表面にコーティングを施すために使用されます。
仕様
| DC-10-D | DC-10-DH | DC-20-D | DC-20-DH | |
|---|---|---|---|---|
| 入力仕様 | 入力仕様 | 入力仕様 | 入力仕様 | |
| 入力電圧 | AC208V | AC208V | AC208V | AC208V |
| 入力変動範囲 | AC187～229V | AC187～229V | AC187～229V | AC187～229V |
| 相数／周波数 | 3相 50/60Hz | 3相 50/60Hz | 3相 50/60Hz | 3相 50/60Hz |
| 入力接続部 | コネクタ | コネクタ | コネクタ | コネクタ |
| 入力容量 | 13.5kVA以下 | 13.5kVA以下 | 25kVA以下 | 25kVA以下 |
| 出力仕様 | 出力仕様 | 出力仕様 | 出力仕様 | |
| 最大定格電力 | 10kW | 10kW | 20kW | 20kW |
| 定格電流 | 25A | 18A | 50A | 40A |
| 定格電圧 | 800V | 1000V | 800V | 1000V |
| ARC制御 | Low ARC動作＋Inverter停止 | Low ARC動作＋Inverter停止 | Low ARC動作＋Inverter停止 | Low ARC動作＋Inverter停止 |
| 出力接続部 | コネクタ | コネクタ | コネクタ | コネクタ |
| 制御 | 制御 | 制御 | 制御 | |
| 制御方式 | P制御／I制御／V制御 | P制御／I制御／V制御 | P制御／I制御／V制御 | P制御／I制御／V制御 |
| 電力制御精度※1 | 定格電力の1～10％未満：±5%以内 定格電力の10％以上：±0.5%または±1%の大きい方 |
定格電力の1～10％未満：±5%以内 定格電力の10％以上：±0.5%または±1%の大きい方 |
定格電力の1～10％未満：±5%以内 定格電力の10％以上：±0.5%または±1%の大きい方 |
定格電力の1～10％未満：±5%以内 定格電力の10％以上：±0.5%または±1%の大きい方 |
| 電力制御保証範囲※2 | 定格電力の10～100% （オプション：1～100%） |
定格電力の10～100% （オプション：1～100%） |
定格電力の10～100% （オプション：1～100%） |
定格電力の10～100% （オプション：1～100%） |
| 並列運転※3 | 最大12台（800Vと1000V混在不可） | 最大12台（800Vと1000V混在不可） | 最大12台（800Vと1000V混在不可） | 最大12台（800Vと1000V混在不可） |
| 外部制御 | Analog/Digital、RS-232C、RS-485、EtherCAT（オプション）※4 | Analog/Digital、RS-232C、RS-485、EtherCAT（オプション）※4 | Analog/Digital、RS-232C、RS-485、EtherCAT（オプション）※4 | Analog/Digital、RS-232C、RS-485、EtherCAT（オプション）※4 |
| その他 | その他 | その他 | その他 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 強制空冷 | 強制空冷 | 強制空冷 |
| 外形寸法 | 483×630×133mm※突起物を含まず | 483×630×133mm※突起物を含まず | 483×630×133mm※突起物を含まず | 483×630×133mm※突起物を含まず |
| 質量 | 29kg | 29kg | 36kg | 36kg |
| 適合規格 | RoHS、CE（EN61000-6-2, -6-4, EN61010-1）、SEMI F47 | RoHS、CE（EN61000-6-2, -6-4, EN61010-1）、SEMI F47 | RoHS、CE（EN61000-6-2, -6-4, EN61010-1）、SEMI F47 | RoHS、CE（EN61000-6-2, -6-4, EN61010-1）、SEMI F47 |
| 動作周囲温度 | 5℃～40℃（結露なきこと） | 5℃～40℃（結露なきこと） | 5℃～40℃（結露なきこと） | 5℃～40℃（結露なきこと） |
| 動作環境 | 直射日光・熱・ホコリ・振動を避け、腐食性ガスを含まないこと | 直射日光・熱・ホコリ・振動を避け、腐食性ガスを含まないこと | 直射日光・熱・ホコリ・振動を避け、腐食性ガスを含まないこと | 直射日光・熱・ホコリ・振動を避け、腐食性ガスを含まないこと |
※1：定格の1-10%の範囲の精度保証についてはオプション。
※2：出力電圧下限値、出力電流下限値あり。オプションにより1%からの保証とすることも可能です。
※3：800V 仕様と1000V 仕様の組み合わせは不可。
※4：EtherCAT 仕様はオプション扱いとなります。ご希望の場合はお問い合わせください。
オプション
これらの機能は、単体でも複数でも、あるいは既存のDC電源に追加して利用可能なパッケージとなっており、異常放電の管理やプロセスの安定化向上に寄与します。
High Performance RAMP
放電前の出力（イグニッション動作）を制御し、放電開始時の急激な出力変化を抑制する機能。通常は放電後の出力制御が一般的であるが、この機能では放電前に出力を制御することで、放電開始時の電力の急激な上昇を抑制し、放電の安定化を図る。
High Speed ARC Handling
設定に対する高精度な出力を実現し、正確な連続繰り返し再現性を持つ機能。
保証値範囲が通常の10～100％ではなく、このパッケージを追加した機器では1％から保証。
出力のばらつきが少なく、何千・何万回と繰り返すプロセスでも高い再現性を保つ。
High Speed ARC Handling
5μ秒のARC（放電）遮断時間を実現する新しいARC制御機能。
異常放電を感知した場合、遮断時間を最大限短縮し、放電維持を容易にし、プロセスの安定化を図る。
短い遮断時間は成膜材料クリーニングのためのプレスパッタ時間の短縮にも寄与。
Superior Performance ARC Handling
異常放電の感知後の出力遮断時間をDC電源自身が異常放電レベルを判断し、最適な遮断が実行できる機能。
通常のDC電源では一つの遮断設定しかできないが、この機能はDC電源が異常放電に対して最適な遮断を判断し、異常放電の再発生確率を低減し、成膜プロセスの効率化を図る。
