特長
最高感度の次世代オージェ
- 従来比5倍の高感度オージェ
- ハイスループット分析
- 低損傷分析
微小部の化学状態分析
- 化学状態マップ
- 化学状態デプスプロファイル
絶縁物試料を容易に帯電中和
- 低エネルギーイオンを用いた帯電中和
自動測定によるハイスループット分析
- 多試料の自動測定分析
- Windows®ソフトウェアによる容易な操作
仕様
| PHI 4800 | |
|---|---|
| 構成 | 装置本体 / 電気系本体 / コンピューター用テーブル |
| 装置本体 重量 | 1155kg |
| 電気系本体・テーブル 重量 | 480kg |
| 搬入間口 | 幅120cm以上、高さ195cm以上 |
| 最小ビーム径 | 15nm@15kV |
| 感度 | 2.5Mcps@10kV, 10nA, (⊿E/E:0.4％) |
| 検出器 | マルチチャンネル検出器（32チャンネル） |
| ステージ | 5軸モータ制御 |
| 試料ホルダーサイズ | φ25.4mm, φ60mm |
| イオン銃加速電圧 | 0～5kV可変 |
| イオン銃ラスター範囲 | 最大4mm×4mm |
| 到達圧力 | 6.7×10⁻⁸Pa以下 |
オプション
- トランスファーベッセル
- 6試料パーキング・冷却破断機構
- イントロ高真空ゲージ
- 背面反射電子検出器
