特長
- 測定子と計測回路一体構造
- アナログ出力およびセットポイント出力
- 独立した、擬似ログ出力及びセットポイント出力(ディスプレイユニット)
- 48 x 96mmのDIN規格サイズ採用(ディスプレイユニット)
用途
- 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置のプロセス制御に
- 炉をはじめとする各種産業機器のプロセス制御に
- インライン式・枚葉式のように多くのプロセス室をもつ各種製造装置のプロセス制御に
仕様
| センサユニット SC1 | |
|---|---|
| 適応測定子 | C-21、23、24、25 |
| 測定圧力範囲 | 1.0×10-5 ～ 1.0 Pa |
| 測定精度 | ＋100%, －50%（1.0×10-4 ～ 1.0×10-1） |
| 使用温度範囲 | 10 ～ 40℃ |
| 測定値出力 | 非線形出力：DC0V ～ 10V（HV-OFFの時、10V） |
| SETPOINT1/2調整用出力 | 非線形出力：DC0 ～ 10V |
| 制御入力信号 | HV ON/OFF |
| 出力信号 | オープンコレクタ、負論理 |
| 制御出力信号 | 放電確認／セットポイント1/2 |
| LED表示 | パワー、HV、圧力保護、セットポイント1/2 |
| 電源 | DC24V±2V、150mA |
| 入出力コネクタ | D-sub-15ピン（M2.6 ネジ） |
| 本体質量 | 430g（測定子含まず） |
| 付属品 | 入出力コネクタ1式、クイックマニュアル1部 |
※ IOとアナログGND、電源GNDはアイソレートされておりません。
