特長
スパッタリングプロセスに最適
この装置はスパッタリングプロセスに最適に適用できる特徴を持っています。CGMはそのプロセスの監視や管理に役立ちます。
Air Leak監視
空気漏れを監視する機能が備えられています。これは製品やプロセスの品質管理に重要な要素です。
残留水分管理
残留水分の管理を行うことができます。水分の制御は多くの製造プロセスで重要です。
プロセスモニタリングにおいて差動排気系が不要
プロセスモニタリングにおいて、差動排気システムが不要で、非常に低い圧力（1Pa以下）を測定でき、スペースの節約が可能です。
高感度リークテストが可能
特に高感度のリークテストができ、CGM2-052モデルではこの機能が提供されています。リークテストは密封性の確認や品質管理に使用されます。
全圧測定が可能
圧力の全範囲で測定が可能です。
表示部一体型の設計
パソコンが不要で、本体に表示部が一体化されているため、パソコンレスで測定が可能です。
簡単操作 – One Click 機能
操作が非常に簡単で、ワンクリック機能を備えています。複雑な操作を必要としないため、誰にでも使いやすいです。
Qulee QCSソフトウェアが標準搭載
Qulee QCSソフトウェアが標準で提供され、さまざまな機能やデータ処理に役立ちます。
CE標準対応
CEマークの基準に合致しており、安全性や品質が確保されています。
用途
スパッタリング装置の残留ガス分析
スパッタリング装置で生成される残留ガスの分析に使用されます。これはプロセス制御や製品品質向上に役立ちます。
プロセスモニタリング
スパッタリングプロセスのモニタリングに使用され、プロセスの安定性や品質管理を支援します。
不純物 (H2O) 管理
水分の不純物管理に使用され、水分の制御が重要なプロセスにおいて役立ちます。
スパッタリング装置のリークテスト
スパッタリング装置のリークテストに使用され、密封性や漏れの確認に役立ちます。
仕様
| CGM2-051 | CGM2-101 | CGM2-052 | CGM2-102 | |
|---|---|---|---|---|
| 分解能 | M/△M=1M(10% P.H.) | M/△M=1M(10% P.H.) | M/△M=1M(10% P.H.) | M/△M=1M(10% P.H.) |
| 質量分離方式 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 | 四重極型質量分析計 |
| 質量数範囲 | 1～50 amu | 1～100 amu | 1～50 amu | 1～100 amu |
| 検出器 | ファラデーカップ | ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ファラデーカップ | 二次電子増倍管／ファラデーカップ |
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa | 0.1mA/Pa |
| 最小検知分圧 | 1×10-7Pa | 1×10-7Pa | 1×10-10Pa | 1×10-10Pa |
| 最大使用圧力 | 2Pa | 2Pa | 2Pa（FC）1×10-2Pa（SEM） | 2Pa（FC）1×10-2Pa（SEM） |
| リニアリティ | 1Pa | 1Pa | 1Pa | 1Pa |
| 全圧測定機能 | あり | あり | あり | あり |
| DEGAS機能 | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA | あり / 電子衝撃離脱方式・300V / 5mA |
| One Clickリーク チェック機能 |
あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas | あり / He / H2O / N2 / O2 / Any gas |
| 電源電圧 | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W | DC24V±10％ 50W |
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット接続時) |
120℃ | 120℃ | 120℃ | 120℃ |
| 最大ベーキング可能温度 (センサユニット脱着時) |
250℃ |
250℃ |
250℃ |
250℃ |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ |
10～40℃ |
10～40℃ |
10～40℃ |
| インターフェース | Ethernet | Ethernet | Ethernet | Ethernet |
| ソフトウェア |
Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 | Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）対応 |
| 適合規格 | CE | CE | CE | CE |
※ガス分析計Quleeシリーズは、異なるアプリケーションや要件に対応するために複数のモデルを提供し、高感度のガス分析やリークチェックなどの機能を備えています。
