Total Support
真空機器の導入からアフターサポートまで
トータルでサポートします
修理・整備・メンテナンス
改善・改良提案
校正サービス
再生洗浄
表面処理
サンプリングテスト
受託業務
当社では、真空機器の販売だけでなく、導入前のご相談から、精密な計測業務、修理・整備・メンテナンス、さらには実際の使用環境を想定したサンプリングテストまで、一貫したサポートを提供しております。お客様の用途や課題に最適なソリューションをご提案し、安心してご利用いただける環境を整えます。
修理・整備・メンテナンス
- 真空ポンプのオーバーホール（引取・現地作業承ります）※一部対象外の機種もございます
- エクスチェンジ方式の相談
- 無害化洗浄を含むメンテナンス作業
- 真空バルブ・配管も含めた排気系のオーバーホール
- 計測機器（真空計/校正リーク/リークディテクタ/ガス分析計/DC電源/RF電源/EB電源/成膜コントローラ/真空搬送ロボット）
- 真空装置
- 修理や整備の際に必要な消耗部品の交換作業
真空装置の改善・改良提案
設備の生産性向上、装置の延命、アップグレードなどを目的としたご提案が可能です。
- 制御系
- 駆動系
- チャンバー系
- 排気系
- 電源系
- 測定系
- 搬送系
- ガス系
- 蒸着源系
- 内部治具関連
校正サービス
真空計・標準リークの一般校正
国家標準に繋がる標準器を使用した比較校正を承ります。比較校正の結果を記載した試験成績書を発行します。
ご要望に応じて「校正証明書」や「トレーサビリティ体系図」また、標準機データの発行も可能です。
真空計・標準リークのJCSS校正
「圧力（真空計/リーク計）」区分のMRA/JCSS認定校正事業者との連携で、校正サービスは品質面、技術面において
国際レベルとして認められています。
再生洗浄
装置部品の表面に付着した堆積物を除去し、新たに最適な表面処理を再施工し精密洗浄を行います。
表面処理
真空関連用途や一般産業用途など様々なニーズに最適な表面処理をご提案します。
サンプリングテスト
漏れ検査、成膜、熱分析、表面分析、エッチング、イオン注入装置、QCM装置、触針式段差計、AFM、光干渉計、ナノインデンター、トライボロジー多機能試験など対応が可能です。
デモンストレーション機器
ディテクター、質量分析計、触針式段差計、エリプソメーター、QCM装置、オープンクリーンシステム、接触式抵抗測定器
サンプリングテスト
漏れ検査、成膜、熱分析、表面分析、エッチング、イオン注入装置、QCM装置、触針式段差計、 AFM、光干渉計、ナノインデンター、トライボロジー多機能試験
受託業務
薄膜受託成膜/コーティング