600シリーズ製品が使用されるアプリケーション
アプリケーションのごく一部を紹介します。
- エッチング、アッシング、CVD、PVD、酸化、拡散、注入等全ての半導体薄膜プロセス
- LCD、プラズマ、CRT等の電子ディスプレイ製造
- 航空宇宙及び輸送機器(自動車等)産業の高度なセラミック、金属製造
- 工業及び科学用自動リークシステム
- バイオ医薬品、食品、医療インプラント、手術器具等の滅菌及び凍結乾燥
- 質量分析計、高精度天秤、校正基準器等の分析器及び計測器
- レーザダイオード、マグネティックヘッド、ストレージプラッタ等のデータストレージコンポーネント製造
特徴
- 最小2.66PaF.S.を実現
- ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定
- 読みの％精度で、1X10⁻⁴F.S.まで測定
- 最高200℃温度制御タイプからセットポイントリレー付きまで各種ラインナップ
- オールInconel®で耐腐食性の構造
- 優れた長期安定性
- 加圧限界が高く（310KPa）、大気圧下でアイソレーションバルブ不要（使用条件による）
- CEマーク対応品（EMC指令89/336/EEC)
- すべてのセンサをISO9001認定工場で製造
- 2年間保証
バラトロン真空計(隔膜真空計)とは
ガス種に依存せずに圧力を精度良く測定することができる真空計です。ただし、1つのセンサーで測定可能な圧力範囲に制限があり、広範囲の領域を測定するためには、複数のセンサーもしくは真空計を使用する必要があります。
バラトロン真空計(隔膜真空計)原理
センサ内部はダイアフラムによって基準の圧力で保持され電極が設置されている空間と、圧力を測定したい空間と隔てられています。基準の圧力と測定したい空間に圧力差が生じた場合に差圧によってダイアフラムにたわみが生じます。
製品紹介
622D（常温/ターミナルブロックコネクタ）
| 622D （常温/ターミナルブロックコネクタ） |
623H （常温/ターミナルブロックコネクタ/リレー付） |
626D （常温/15ピンDサブコネクタ） |
627H （45℃温度制御/15ピンDサブコネクタ） |
628H （100℃温度制御/15ピンDサブコネクタ） |
629H （45℃＆100℃温度制御/9ピンDサブコネクタ） |
624H （45℃温度制御/15ピンDサブコネクタ/リレー付） |
625H （100℃温度制御/15ピンDサブコネクタ/リレー付） |
631F （150℃＆200℃温度制御/15ピンDサブコネクタ/リレーオプション） |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| フルスケールレンジ （Pa） |
1.33×10²、1.33×10³、2.66×10³ 1.33×10⁴、6.66×10⁴、1.33×10⁵ |
1.33×10³、2.66×10³、1.33×10⁴ 6.66×10⁴、1.33×10⁵ |
13.3、33.3、1.33×10² 2.66×10²、1.33×10³、2.66×10³ 1.33×10⁴、6.66×10⁴、1.33×10⁵ |
2.66、6.66、13.3 33.3、1.33×10²、2.66×10² 1.33×10³、2.66×10³、1.33×10⁴ 1.33×10⁵、2.66×10⁵、6.66×10⁵ 1.33×10⁶、1.99×10⁶、2.66×10⁶ |
6.66、13.3、33.3 1.33×10²、2.66×10² 1.33×10³、2.66×10³、1.33×10⁴ 1.33×10⁵、2.66×10⁵、6.66×10⁵ 1.33×10⁶、1.99×10⁶、2.66×10⁶ |
2.66、6.66、13.3 33.3、1.33×10²、2.66×10² 1.33×10³、2.66×10³、1.33×10⁴ 1.33×10⁵、2.66×10⁵、6.66×10⁵ 1.33×10⁶、1.99×10⁶、2.66×10⁶ |
1.33×10²、1.33×10³、2.66×10³ 1.33×10⁴、6.66×10⁴、1.33×10⁵ 2.66×10⁵、6.66×10⁵、1.33×10⁶ 1.99×10⁶、2.66×10⁶ |
1.33×10²、1.33×10³、2.66×10³ 1.33×10⁴、6.66×10⁴、1.33×10⁵ 2.66×10⁵、6.66×10⁵、1.33×10⁶ 1.99×10⁶、2.66×10⁶ |
1.33×10²、2.66×10²、1.33×10³ 1.33×10⁴、1.33×10⁵ |
| 精度（読み値の%） | 0.25% | 0.25% | 0.25% | 15~40℃ | 0.25%（1.33×102Pa以上）、0.50%（1.33×102Pa未満） | 45℃制御：0.12%（1.33×102Pa以上） 0.15%（33.3、13.3、6.66） 100℃制御：0.25%（1.33×102Pa以上） 0.50%（1.33×102Pa未満） |
0.12% | 0.25% | 0.50% |
| 周囲動作温度 | 0~50℃ | 0~50℃ | 0~50℃ | — | 15~50℃ | 45℃制御：15~40℃ 100℃制御：15~50℃ |
15~40℃ | 15~50℃ | 15~50℃ |
| ウォームアップ時間 | 30分 | 30分 | 30分 | 2時間（1.33×10²Pa以上）、4時間（1.33×10²Pa未満） | 2時間（1.33×10²Pa以上）、4時間（1.33×10²Pa未満） | 2時間（1.33×10²Pa以上）、4時間（1.33×10²Pa未満） | 2時間（1.33×10²Pa以上）、4時間（1.33×10²Pa未満） | 2時間（1.33×10²Pa以上）、4時間（1.33×10²Pa未満） | 4時間 |
| 継手（オプションあり） | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm) | 標準1/2インチ（外径12.7mm |