バラトロン真空計│日本エム・ケー・エス社製（600シリーズ）の製品紹介│三弘エマテック株式会社

バラトロン真空計│日本エム・ケー・エス社製（600シリーズ）製品情報│三弘エマテック株式会社

バラトロン真空計│日本エム・ケー・エス社製（600シリーズ）製品情報│三弘エマテック株式会社

型式	600シリーズ
メーカー	日本エム・ケー・エス㈱

BaretronⓇ600シリーズは、過酷なプロセス環境においても製作で再現性の高い圧力、真空測定が可能なように設計されたRoHS対応の接耐圧型キャパシタンスマノメータです。

±15VDC（±24VDCオプションあり）の電源供給で0-10VDCの出力信号を高レベルで供給するアナログタイプの独立型トランデューサです。

溶接の際、ダイアフラムを放射状に張ることで、20m秒以下の高速レスポンス、非常に低いヒストリアスと広い分解能（1×10-4 F.S.)、優れた再現性を実現し、極低圧域の測定ができます。

600シリーズ製品が使用されるアプリケーションのごく一部を紹介します。

　・エッチング、アッシング、CVD、PVD、酸化、拡散、注入等全ての半導体薄膜プロセス

　・LCD、プラズマ、CRT等の電子ディスプレイ製造

　・航空宇宙及び輸送機器(自動車等)産業の高度なセラミック、金属製造

　・工業及び科学用自動リークシステム

　・バイオ医薬品、食品、医療インプラント、手術器具等の滅菌及び凍結乾燥

　・質量分析計、高精度天秤、校正基準器等の分析器及び計測器

　・レーザダイオード、マグネティックヘッド、ストレージプラッタ等のデータストレージコンポーネント製造

※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています

※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用

・最小2.66PaF.S.を実現

・ガスの成分に関係なく、トータル圧力を直接測定

・読みの％精度で、1X10⁻⁴F.S.まで測定

・最高200℃温度制御タイプからセットポイントリレー付きまで各種ラインナップ

・オールInconel®で耐腐食性の構造

・優れた長期安定性

・加圧限界が高く（310KPa）、大気圧下でアイソレーションバルブ不要（使用条件による）

・CEマーク対応品（EMC指令89/336/EEC)

・すべてのセンサをISO9001認定工場で製造

・2年間保証

ガス種に依存せずに圧力を精度良く測定することができる真空計です。

ただし、1つのセンサーで測定可能な圧力範囲に制限があり、広範囲の領域を測定するためには、複数のセンサーもしくは真空計を使用する必要があります。

センサ内部はダイアフラムによって基準の圧力で保持され電極が設置されている空間と、圧力を測定したい空間と隔てられています。

基準の圧力と測定したい空間に圧力差が生じた場合に差圧によってダイアフラムにたわみが生じます。

フルスケールレンジ（Pa）：1.33×102、1.33×103、2.66×103、1.33×104、6.66×104、1.33×105

精度（読み値の%）：0.25%

周囲動作温度：0~50℃

ウォームアップ時間：30分