Cシリーズコンパクト超高速50-10,000sccmマスフローコントローラ/メータ│日本エム・ケー・エス社製（CMA-10B）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- Cシリーズコンパクト超高速50-10,000sccmマスフローコントローラ/メータ│日本エム・ケー・エス社製（CMA-10B）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 CMA-10B メーカー 日本エム・ケー・エス㈱
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製品説明
Cシリーズマスフローコントローラ(MFC）は非腐食性ガスアプリケーション向けのマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)ベースの流量センサを使用したコンパクトで高速応答のモデルです。このデバイスは、フルスケールの0.1％からフルスケールの100％までの制御範囲で、10sccm-10slmのフルスケール流量で入手可能で、流量計としても入手可能です。アナログまたはデジタル通信インターフェースのいずれかが利用可能です。必要な電源電圧は公称24VDCです。
フルスケールフロー範囲：50-10,000sccm(N2相当）
通常の動作圧力差：50-5000sccm:10-45、psid10000、sccm:15-45psid
動作温度：10-50℃
シール材：バイトン
バルブ位置：ノーマルクローズ
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
・＜100ミリ秒の超高速応答時間
・フルスケールの0.1－100％の制御範囲
・セットポイントの±0.8％の精度
・最小のゼロとスパンドリフトにより、長期的な再現性を保証
・コンパクトなガスパネル設計のための表面実装インターフェースが利用可能
・セットアップと診断のための組み込みWebブラウザ
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