特長
- 超高速応答時間：100ミリ秒未満
- 0.1% から 100% の全スケール制御範囲
- 設定値に対する±0.8%の高精度
- 最小限のゼロおよびスパンのドリフトにより長期の再現性を保証
- コンパクトなガスパネル設計向けの表面実装インターフェース
- セットアップおよび診断用の組み込みウェブブラウザー
仕様
| CMA-10B | |
|---|---|
| フルスケールフロー範囲 | 50-10,000sccm(N2相当） |
| 通常の動作圧力差 | 15～7000sccm：10～45psid、7001～15,000:15～45psid |
| 動作温度 | 10-50℃ |
| シール材 | バイトン |
| バルブ位置 | ノーマルクローズ |