特長
- 高真空10-5Pa台で質量分析測定が可能
- 高速加熱から低速加熱までの幅広い設定範囲をもち、多段ステップ加熱やサイクル加熱が可能
- 赤外線ランプ加熱により石英製反応管はコールドウォールで、放出ガスがほとんどありません
- パソコン（オプション）のRS-232Cを使用し、データ収集が簡単に行えます
- 真空グリース、O－リングなどの各種真空材料の評価
- 半導体ウェハ、チップの評価
- 合金、セラミックス、固体材料などの微量ガス分析
仕様
| TDS-M202R | |
|---|---|
| 温度範囲 | RT ～ 1000℃ |
| 試料寸法 | 角20mm×厚2mm |
| 雰囲気 | 真空中 |
| 加熱方式 | 放物面反射赤外線管状加熱方式 |
| 温度センサ | 熱電対（JIS “K”） |
| 到達真空度 | 10⁻⁵ Pa台（ベーキング8時間後） |
| 測定質量数範囲 | 2～ 200amu |
| 保安項目 | 冷却水量・漏電（ELB） |
| 感度 | 4A/Pa |
| 分解能 | M/△M＝1M（10％ P.H.） |
