アークプラズマ法ナノ粒子形成装置│アドバンス理工社製（APDシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- アークプラズマ法ナノ粒子形成装置│アドバンス理工社製（APDシリーズ）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 APDシリーズ メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明
APD-S
試料寸法：基板 φ 2 インチ
標準蒸着源数：1
APD-P
試料寸法：粉体 試料容器寸法（内寸） φ 95mm×高30mm 攪拌機構付
標準蒸着源数：1
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
- コンデンサの容量を変えることでナノ粒子の粒径を約1.5nm ～ 6nmまで自在に選択可能
- 導電性材料（ターゲット）であれば、どのような材料もプラズマ化可能
＊ターゲットの比抵抗0.01Ωcm以下 - 雰囲気を可変することで酸化物や窒化物を容易に生成可能
- 担持されたナノ粒子は湿式と比較して高活性な触媒効果を示す
- APD-S（基板蒸着モデル）
金属薄膜（磁性、プラズモン、保護膜） - APD-P（粉体担持モデル）
ナノ粒子を利用した燃料電池触媒、排ガス触媒、光触媒、VOC 分解触媒、カーボンナノチューブ触媒、プラズモン
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