特長
- コンデンサの容量を変えることでナノ粒子の粒径を約1.5nm ～ 6nmまで自在に選択可能
- 導電性材料（ターゲット）であれば、どのような材料もプラズマ化可能（※ターゲットの比抵抗0.01Ωcm以下）
- 雰囲気を可変することで酸化物や窒化物を容易に生成可能
- 担持されたナノ粒子は湿式と比較して高活性な触媒効果を示す
- 最大６源を同時に蒸着可能
APD-S（基板蒸着モデル）の使用例
- 金属薄膜（磁性、プラズモン、保護膜）、ナノ粒子
APD-P（粉体担持モデル）の使用例
- ナノ粒子を利用した燃料電池触媒
- 排ガス触媒
- 光触媒
- VOC分解触媒
- カーボンナノチューブ触媒
- プラズモン
仕様
| APD-S | APD-P | |
|---|---|---|
| 試料寸法 | 基板 φ2インチ | 粉体 試料容器寸法（内寸） φ95mm×高30mm 攪拌機構付 |
| 標準蒸着源数 | 1 | 1 |
