空冷卓上型ランプ加熱装置│アドバンス理工社製（MILA-700AR）製品紹介│三弘エマテック株式会社
- 空冷卓上型ランプ加熱装置│アドバンス理工社製（MILA-700AR）製品紹介│三弘エマテック株式会社
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型式 MILA-700AR メーカー アドバンス理工㈱
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製品説明
温度範囲：ＲＴ～700℃（最高800℃）
最高昇温速度：25℃／ｓ ※ＲＴ～700℃の範囲でノンコントロールフルパワー加熱時の平均加熱速度
ガス温度分布：ΔＴ=10℃ at 700℃保持中
加熱雰囲気：大気中、真空中、不活性ガス中
試料寸法：Ｗ20㎜×L20㎜×ｔ2.0㎜ ＭＡＸ
温度制御センサ：JIS熱電対 K
ランプ定格：赤外線ランプ 100V 375W 4本使用
外形寸法：約W360㎜×D300㎜×H310㎜（突起物は除く）
※製品画像はメーカーより許可を得て掲載しています
※機器のスペック仕様は、各メーカーのカタログ掲載値を引用
特徴
- 冷却水は不要で、空冷ファンによる空冷方式を採用
- 壁コンセント（AC100V 15A）で使用可能
- 加熱炉と加熱チャンバ、温度制御器が一体化した卓上型
- 赤外線ゴールドイメージ炉のクリーンな高速加熱と高速冷却
- 温度レシピはパソコンで簡単入力
- 加熱中の温度データをパソコン画面に表示可能
- デジタル流量計を標準装備し、Ｎ2ガス、Arガス、乾燥空気の選択が可能
- Si ウエハ、化合物ウエハの高速加熱
- 光CVDの基板加熱などエレクトロニクス材料の高速加熱
- ガラス基板、セラミックス、複合材料などの熱処理
- 熱サイクル試験
- 金属材料の焼鈍
- コーティング膜の耐熱評価
- 有機材料、樹脂類の加熱、乾燥
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